探针式轮廓仪能够利用物理探针,精密的测量薄膜的高度,台阶高度,2D形貌,表面粗糙度等参数。光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量,大垂直范围和低触力测量功能。
软件测量界面
经过工程师的努力,我们完成了探针式轮廓仪的安装调试
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