KLA D300探针式轮廓仪

探针式轮廓仪能够利用物理探针，精密的测量薄膜的高度，台阶高度，2D形貌，表面粗糙度等参数。光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。

基本测量参数

• 台阶高度：几纳米至1000μm
• 低触力：0.5至15mg
• 视频：500万像素率彩色摄像头
• 梯形失真校正：消除侧视光学系统引起的失真
• 圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差
• 紧凑尺寸：小占地面积的台式探针式轮廓仪

  主要的应用

• 台阶高度：2D台阶高度
• 纹理：2D粗糙度和波纹度
• 形式：2D翘曲和形状

三、应用案例

    台阶高度

D-300 探针式轮廓仪能够测量从几个纳米到1000μm的2D台阶高度。 Alpha-Step系列具有低触力功能，可以测量如光刻胶的软性材料(粘性的除外)

纹理：粗糙度和波纹度

 D-300 测量 2D 纹理，量化样品的粗糙度和波纹度。 软件过滤功能将测量值分离为粗糙度和波纹度的部分，并计算诸如均方根（RMS）粗糙度之类的参数。

 外形：翘曲和形状

     D-300 可以测量表面的2D形状或翘曲。 这包括对晶圆翘曲的测量，例如在半导体或化合物半导体器件生产过程中，多层沉积层结构中层间不匹配是导致这类翘曲产生的原因。Alpha-Step 还可以量化包括透镜在内的结构高度和曲率半径。

软件界面

探针尖有2-50um，配有50um和1mm标准台阶块，用于校准和计量